CZ硅中間隙鐵沾污的沉淀規(guī)律

全部作者： 曾俞衡 席珍強(qiáng) 楊德仁 第1作者單位： 浙江大學(xué)材料系硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 論文摘要： 鐵琌趾い程盽見(jiàn)??屬猤γ??趾い?間回態(tài)?蝋?蔨㎝↖鍺?Α???誹и們┮???們對(duì)鐵↖鍺??╯?璶棟い?區(qū)翰趾??對(duì)??┰趾い鐵↖鍺︽為?ぃ?だ睲貳?セゅ硄過(guò)?╯?┰單垂趾い?間回鐵濃??變て來(lái)?╯鐵?↖鍺規(guī)?? и們發(fā)現(xiàn)炊硄?┰單垂趾い鐵↖鍺規(guī)?顯帝ぃ??區(qū)翰趾い?鐵↖鍺規(guī)???┰單垂趾い鐵?↖鍺硉瞯隨著熱處瞶溫??ど藹τ糤??ぃ??著程?硉瞯?↖鍺溫????硄過(guò)Ham猭則進(jìn)︽擬??發(fā)現(xiàn)?┰單垂趾い鐵?↖鍺?擴(kuò)床???↖鍺?華?次狀?這???┰單垂趾鐵?↖鍺規(guī)?蒓間回??關(guān)?炒Τ關(guān)?進(jìn)?˙?╯???間回鐵?會(huì)玃進(jìn)間回??↖鍺? 關(guān)鍵詞： Ham猭則?擴(kuò)床???micro-PCD?SIRM?FTIR (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2006年10月30日 同行評(píng)議：

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